液体ホーニング装置

　

各種晶圓表面用 濕式噴砂機-液體噴砂機
操作自在的自動化系統對應。

　

　

 WBDシリーズ
各種晶圓表面用 濕式噴砂機-液體噴砂機WBD系列。

■特長
　・可以對應各種類，尺寸的晶圓。
　・可利用於GETTERING, 去除會造成元件特性不良影響的雜質、重金屬,或去除和缺陷相關
         之點缺陷、背部缺陷、表面改質等各樣的用途。
　・採用維修保養容易的裝置機構。
　

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